案例分享 | 樺漢嵌入式無風扇工業電腦，讓晶圓自動化傳輸更智能！

發布日期：2024-06-06 09:49:52 內容來源于：http://www.sonydslr.com.cn/news/1277.html 瀏覽次數：次

EFEM（Equipment Front End Module）半導體設備前端模塊，是連接物料搬運系統和硅片處理系統的橋梁。

作為半導體制程/檢測設備中必不可少的關鍵組成部分，EFEM主要負責在高潔凈環境下，將單片晶圓通過精密機械手傳輸至工藝、檢測模塊。這一過程中，任何微小的塵埃或污染都可能對晶圓造成不可逆的損害。因此，EFEM設備不僅要具備高度的可靠性和穩定性，還要能夠適應各種復雜的工業環境。

樺漢科技嵌入式無風扇工控機以其獨特的特性和優勢，為EFEM的高效、穩定運行提供了有力支持。與傳統工業計算機相比，樺漢無風扇工控機采用了更為緊湊的設計，不僅減少了占地面積，還避免了因風扇轉動而產生的塵埃和噪音。

客戶需求

無風扇BOX，7*24H穩定工作
8個RS232
2 個千兆網口，LAN需Intel芯片，支持EtherCat總線
4 x USB
24V寬壓輸入

基于客戶需求，樺漢推薦適用于工業自動化、機器視覺、設備檢測、智能制造等領域的嵌入式無風扇工控機CES-EH42-D2A0作為解決方案。

運行原理

機箱內部24V 開關電源給工控機供電；
HDMI高清顯示接口, 實時顯示采集、檢測數據；
EFEM有3個進料盒，當上游晶圓硅片到每個進料盒時，通過機器上COM口接的掃描儀掃描盒子里的每片晶片，同步通過COM口上的讀碼器讀取晶片信息；
通過LAN1口接機械手臂控制器，EtherCat總線控制，當進料盒進料后，控制機械手臂傳送晶片；通過LAN2接工業相機，時時監測晶片狀態信息;
當機械手臂傳送晶片時，工控機通過COM7控制風機設備吹離子棒釋放離子，中和空氣中離子平和度，保持空氣潔凈度，同時通過COM8接壓差儀，監測環境中離子濃度、氣壓狀態，保證晶片在傳送過程中的潔凈度，使晶片潔凈、無污染的送到劃片制程端。

產品特性

CES-EH42-D2A0采用Core ? i /Celeron?處理器，搭載H420E芯片組，為不同應用場景提供了出色的計算能力和能效比。

產品支持雙通道DDR4 2666/2933 MHz內存，最大支持64GB，能夠輕松處理大量數據和多任務應用。

CES-EH42-D2A0配備了1 x Mini-PCIe、1 x M.2 2230 wifi卡槽及1 x M.2 2242擴展槽，可提供靈活的擴展選項，無論是添加無線通信功能還是安裝其他功能卡，都能輕松實現。

此外，產品還支持2個或4個千兆網口，確保數據傳輸穩定無延遲，提供更加可靠的網絡環境。

支持VGA和HDMI異步雙顯，能夠同時連接兩種不同類型的顯示器，滿足多樣化的顯示需求。

復位開關和2PIN遠程開關的設計，則確保了在遇到運行問題時能夠快速重啟或遠程啟動設備，為產線作業提供了極大的便利。

與CES-EH42-D2A0具備相同出色性能的CES-EQ47/EH42-DXXX系列嵌入式無風扇工業電腦，采用Core ? i /Celeron?系列LGA1200處理器，搭載H420E/Q470E芯片組，性能穩定且擴展選項豐富。標準19-24V DC電源輸入，保證了產品的穩定運行和廣泛適用性。